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IN-2000型雙光路高精度紫外臭氧分析儀

         本產品是同類產品中的高精確度高品質臭氧分析儀，它目前主要用于半導體、芯片、CVD，ALD等領域。由于它優(yōu)異的品質，使得它成為那些需要長時期、高穩(wěn)定地提供連續(xù)測量和工藝控制的客戶的正確選擇，長期使用的所有者成本低。是監(jiān)測氣體發(fā)生設備、氣柜、氣體輸送系統(tǒng)以及半導體設備的臭氧濃度的理想選擇。也可用于環(huán)境監(jiān)測、職業(yè)衛(wèi)生和科學研究。

主要特點：

微機控制                        紫外吸收技術

可訂購多達5個取樣點              壓力和溫度補償能力

內置現(xiàn)場編程，可編次序               定光學系統(tǒng)

每通道4-20mA隔離輸出                 每通道雙報警

主要技術規(guī)格

l          取樣點數(shù)量：1，3或5個內置式多通道閥

l          量程：0-1ppm，0-10ppm，0-100ppm, 或 0-1000ppm可選。

l          精度等***：5ppb(0-1ppm量程)，0.01ppm(0-10ppm量程)，0.1ppm(0-100ppm量程)，

l          分辨率高：0.001ppm(0-1PPM)，0.01ppm(0-10PPM)

l          流量：內置泵，流量可調（不大于2L/m）

l          輸出：模擬4～20mA，以及數(shù)字輸出

l          CE認證；內部自；RS-232通訊接口