SU8020發(fā)射掃描電鏡
價 格：詢價
產(chǎn) 地：更新時間：2021-01-18 15:20
品 牌：型 號：SU8020
狀 態(tài)：正常點擊量：2194
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SU8020--日立新型高分辨場發(fā)射掃描電鏡SU8000系列
產(chǎn)品介紹：
日立新型高分辨場發(fā)射掃描電鏡SU8000系列--SU8020
日立2011年新推出了SU8000系列高分辨場發(fā)射掃描電鏡，其中SU8020不光1kv的分辨率提升到1.3nm，并且在探測器設(shè)計上有新的突破，配置了Lower、Up-per和Top三個Everhart-Thornley型探測器，可以接受SE、LA-BSE和HA-BSE多種信號，實現(xiàn)微區(qū)的形貌襯度、原子序數(shù)襯度、結(jié)晶襯度和電位襯度的觀測；結(jié)合選配的STEM探測器，還可以實現(xiàn)明場像和暗場像的觀測；此外在半導(dǎo)體應(yīng)用中，還可以安裝EBIC探測器，采集感生電流圖像，極大豐富了信號的采集，對樣品的信息的收集達(dá)到了新的高度。
特點：
1. ***的低加速電壓成像能力，1kv分辨率可達(dá)1.3nm
2. 日立的ExB設(shè)計，不需噴鍍，可以直接觀測不導(dǎo)電樣品
3. 配置Lower、Upper和Top三個Everhart-Thornley型探測器
4. Upper和Top探頭均可選擇接受二次電子像或背散射電子像
5. 可以根據(jù)樣品類型和觀測要求選擇打開或關(guān)閉減速功能
6. 標(biāo)配有冷指、電子槍內(nèi)置加熱器，物鏡光闌具有自清潔功能
7. 儀器的烘烤維護(hù)及烘烤后的透鏡機(jī)械對中均可由用戶自行完成
| 項目 | SU8020 | SU8030 | SU8040 |
| 二次電子分辨率 | 1.0nm （加速電壓15kV、WD＝4mm） |
| 1.3nm （加速電壓1kV、WD＝1.5mm） |
| 加速電壓 | 0.1～30kV |
| 觀測倍率 | 20～8000,000(底片輸出) |
| 60～2,000,000（顯示器輸出） |
| 樣品臺 |
| 馬達(dá)驅(qū)動 | 5軸 | REGULUS樣品臺 |
| 行程 | X | 0～50mm | 0～110mm |
| Y | 0～50mm | 0～110mm | 0～80mm |
| Z | 360° |
| T | -5～70° |
| R | 1.5～30mm | 1.5～40mm |
| 裝載尺寸 | 100mm（） | 150mm（） | 150mm（） |
| 150mm（選配） | 200mm（選配） |
| 探頭 |
| 標(biāo)配 | Lower | 高立體感圖像 |
| Upper | 高分辨SE、LA-BSE圖像 |
| Top | SE的電位襯度像、HA-BSE圖像 |
選配 | STEM | 明場像、暗場像 |
| YAG 探頭 | BSE圖像 |
| 半導(dǎo)體探頭 | BSE圖像 |
| EBIC | 電子束感生電流圖像 |
| EDS | 元素分析 |
| 反污染措施 |
| 冷指 | 標(biāo)配 |
| 物鏡光闌 | 內(nèi)置自清潔功能 |
| 電子槍 | 內(nèi)置加熱器 |
| 真空系統(tǒng) |
| 離子泵 | 3臺 |
| 分子泵 | 1臺 |
| 機(jī)械泵 | 1臺
|
滬公網(wǎng)安備31011502016460號
