雙頻激光干涉儀ZLM700
價 格：詢價
產 地：更新時間：2021-01-19 09:17
品 牌：型 號：
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產品功能
定位精度、重復定位精度、位移距離測量、速度加速度測量、線性度、直線度、垂直度、平面度、偏擺角、俯仰角、滾動角、角速度、圓形軌跡、微振動測量，還能夠測量數控機床回轉臺的定位精度和重復定位精度等，從而實現(xiàn)定位、校準、控制和補償。ZLM700主要用于單軸系統(tǒng)的校準和測量，廣泛應用于高速動態(tài)加工工藝中的機械定位和系統(tǒng)控制。
性能優(yōu)勢
l 真正意義上的雙頻激光干涉儀，頻差為640MHz。請用戶注意“激光干涉儀”和“雙頻激光干涉儀”的區(qū)別。眾所周知雙頻激光干涉儀精度更好、性能更穩(wěn)定。世界范圍內只有兩***雙頻激光干涉儀的生產商，德***耶拿爾公司是其中的******。
l 全部部件皆在德***生產制造，絕非為了降低成本而在第三方******進行部件加工。光學組件全部采用蔡司光學鏡，是世界上******將的蔡司光學鏡用于激光干涉儀領域的產品制造商。
l 測量系統(tǒng)采用模塊化設計，各種測量功能之間互不影響。若用戶先期只需要干涉儀的部分功能（如僅測量直線度），則僅采購所需功能部分的光學部件（直線度光學鏡），其他不需要的功能暫時可以不采購；若后期有其他功能的需求，補充采購功能對應的部件即可。
l 激光器壽命更長，可達20000小時，激光穩(wěn)頻精度高，***小時內為±0.002ppm，在產品壽命內可達±0.02ppm。
l 干涉鏡采用差分干涉原理，系統(tǒng)精度更高，可達±0.4ppm。
l 計算機輔助光路調整，調整結果更準確。
l 采樣頻率更快，達1MHz，可在0.001Hz-1MHz之間進行選擇。
l 被測物體速度16m/s（可選）；采用高精度AE950 PCI數據處理器，分辨率達0.6nm（當移動速度為1m/s時，線性分辨率更可高達為0.1nm）。
l 無加速度限制；當光線微弱時，性能也十分穩(wěn)定。
l 信號延時<200ns；對電磁干擾不敏感。
l 對于多軸聯(lián)動的復雜光路測量和微位移測量，請選用ZLM800型雙頻激光干涉儀，*多可實現(xiàn)六軸聯(lián)動。
工作原理
型ZLM700激光干涉儀使用氦氖激光器，采用雙頻外差式工作模式。激光穩(wěn)頻精度為+/-0.002ppm，640MHz的頻差用于信號處理。這種高頻處理信號能夠對高速物體進行測量，不會出現(xiàn)干擾誤差，信號延時時間極短。
采用光纖電纜，把來自干涉鏡的信號傳輸到計算機卡槽連接的電子計數器上，避免了外部電磁環(huán)境對測量信號的干擾。因此，ZLM700雙頻激光干涉儀特別適用于惡劣的生產環(huán)境、標準化實驗室和高真空環(huán)境。 技術參數
| 型號：ZLM700 | 使用高性能數據處理器AE950 PCI |
| He-Ne激光平均波長： | 632.8 nm |
| 激光穩(wěn)頻精度： | ***小時2x10-9（±0.002ppm） 壽命內2x10-8（±0.02ppm） |
| 系統(tǒng)精度（0-40℃時）： | ±0.4ppm |
| 光束直徑： | 6mm （可選3.2mm） |
| 激光管突發(fā)輸出功率： | 1mW （激光等***2） |
| 每束光可測量的軸數： | 1 |
| 線性測量距離： | 40m，可擴展為120m |
| 角度測量范圍： | ± 15°，20m軸線范圍 |
| 平面度測量范圍： | 20m行程 |
| 直線度測量范圍： | ± 5mm，2m或10m行程， 選用角度干涉儀可測30m行程 |
| 垂直度測量范圍： | ± 5mm，2m或10m行程， 30m行程需用角度干涉儀 |
| 速度： | 4m/s，可選16m/s 80rad/s，角速度 |
| 加速： | 無限制 |
| 采樣頻率： | 內部1MHz，外部40MHz |
| 預熱時間： | 10分鐘 |
| 精度/非線性： | ±0.3nm （角隅反射鏡） ±0.1nm （平面反射鏡） |
| 距離測量分辨率： | 0.6nm （角隅反射鏡） 0.3nm （平面反射鏡） 0.1nm 可選 |
| 距離測量精度： （20°±0.5°） 使用AUK時 （20°±0.5°） 真空中時 | ±0.4ppm （μ/m） ±0.08 （±0.02）ppm （μ/m） |
| 線性度測量分辨率： | 0.6nm （角隅反射鏡） 0.3nm （平面反射鏡） 0.1nm 可選 |
| 線性度測量精度： （20°±0.5°） 使用AUK時 （20°±0.5°） 真空中時 | ±0.4ppm （μ/m） ±0.08 （±0.02）ppm （μ/m） |
| 速度測量精度： | ±0.5ppm實測值 |
| 角度測量分辨率： | 0.015μrad （3x10-3 弧秒） |
| 角度測量精度： | ±0.1ppm實測值 |
| 平面度測量分辨率： | 0.015μrad （3x10-3 弧秒） |
| 平面度測量精度： | ±0.2%實測值 ±0.05 弧度/米運行距離 |
| 直線度測量分辨率： | 36nm，10m行程 7.25nm，2m行程 |
| 直線度測量精度： | ±0.5%實測值，2m行程 ± 2.5%實測值，10m行程 |
| 垂直度測量分辨率： | 36nm，10m行程 7.25nm，2m行程 |
| 垂直度測量精度： | ±0.5%實測值2m，± 0.5弧秒* ±2.5%實測值10m，± 0.5弧秒* |
| 數據接口： | 積分信號
32 Bit （實時時間）
Dt » 20 ns |
| 數據分析標準： | ISO230/VDI3441/VDI2617/NMTBA |
| 工作環(huán)境： | 溫度：15°C-30°C 濕度：<90%無冷凝 |
| 儲存環(huán)境： | 溫度：10°C-40°C 濕度：<95%無冷凝 |
應用光路圖
以上為直線度測量示意圖，包括水平方向直線度和垂直方向直線度
以上是平面度測量示意圖
以上是垂直度測量示意圖
以上是位移、線性度、速度、加速度、定位精度測量示意圖
以上是對角測量示意圖
以上是俯仰角測量示意圖
以上是偏擺角測量示意圖
以上是滾動角測量示意圖
以上是回轉臺定位精度測量示意圖
資料下載
耶拿爾雙頻激光干涉儀樣本（中文）.pdf
激光干涉儀說明書（中文）.pdf
滬公網安備31011502016460號
