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大理石自動平衡精密光學(xué)隔振平臺

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產(chǎn)  地：更新時(shí)間：2021-05-06 11:46

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產(chǎn)品參數(shù)

大理石自動平衡精密光學(xué)隔振平臺主要參數(shù)：

平面精度為雙零級

表面粗糙度小于0.08um

固有頻率垂直1.2Hz-1.8Hz，水平1.2Hz-1.8Hz

振幅不大于1.2um

重復(fù)定位精度±0.05mm



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