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特點：

• 配備溫度跟蹤式電流差檢測型流量傳感器，實現(xiàn)高精度，高速響應(yīng)

• 采用常閉閥門，方向操作安全

• 采用隔膜閥，減少死體積

• F.1. SCCM分鐘流量支持（SR選項）

• 低壓差兼容燃氣控制（LP選項） 

日本KOFLOC 3200系列質(zhì)量流量控制器

性能參數(shù)：

日本KOFLOC 3200系列質(zhì)量流量控制器：

應(yīng)用于多個OEM設(shè)備場合，尤其適合微小流量測量，適用于燃氣低壓力、泄漏測試的低流量、半導(dǎo)體等使用，±15VDC供電性能穩(wěn)定，0-5V模擬信號更加通用，可定制0.02-1SCCM微小流量。

★使用注意

***：進氣管道上建議安裝上的過濾器、油水分離器使用，保證氣體的干燥干凈《濕度不超過90%(***定不能進水)、雜質(zhì)粉塵不超過20微米》。

二：用肥皂水對管路進行泄漏檢測時，只能將肥皂水噴灑在管路接頭上，不能噴在儀表或電氣插頭上。

三：安裝前，請將設(shè)備管路進行整體吹掃。

四：耐壓1.0Mpa，進口大壓力5公斤。

五：需要進行零點漂移清零的時候，確認進/出口沒流量沒壓力下 再操作