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MCE和MCV系列真空氣體質(zhì)量流量控制器

價(jià)  格：詢(xún)價(jià)

產(chǎn)  地：更新時(shí)間：2021-03-29 17:22

品  牌：其他型  號(hào)：

狀  態(tài)：正常點(diǎn)擊量：2659

400-006-7520
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上海非利加實(shí)業(yè)有限公司

聯(lián) 系 人： 上海非利加實(shí)業(yè)有限公司

電   話(huà)： 400-006-7520

傳   真： 400-006-7520

配送方式： 上海自提或三方快遞

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產(chǎn)品參數(shù)

性能

  • 可用量程：大0-20 slpm；小0-0.5 sccm/0-500 sμlm（欲了解常備量程，請(qǐng)參見(jiàn)零件編號(hào)標(biāo)簽）

  • 可調(diào)比：200:1（MCE/MCV）或者100:1 （MCES/MCVS）

  • 標(biāo)準(zhǔn)精度（NIST可溯源）：±（0.8%讀數(shù)+0.2%滿(mǎn)量程）

  • 高精度（選配，NIST可溯源）：±（0.4%讀數(shù)+0.2%滿(mǎn)量程）

  • 可重復(fù)性：0.2%滿(mǎn)量程

  • 標(biāo)準(zhǔn)控制器響應(yīng)時(shí)間常數(shù)：50-100ms（若有PID調(diào)節(jié)功能，可縮短至25ms）

  • 氣動(dòng)閥漏氣率（僅MCV系列）：1 x 10-9 atm scc/sec（大值，氦氣）

  • 無(wú)需預(yù)熱時(shí)間

工作條件

  • 兼容氣體：98種（MCE/MCV系列）或130種（MCES/MCVS系列）預(yù)置可選氣體；利用COMPOSER氣體編輯器自定義的其它混合氣體

  • 工作溫度：-10°C至+60°C

  • 大內(nèi)部壓力（靜態(tài)）：145 psig（160 psia）

  • 耐受壓力：175 psig（190 psia）

  • STP/NTP：用戶(hù)可選（默認(rèn)為25°C & 1 atm STP/0°C & 1 atm NTP）



產(chǎn)品介紹




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