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美國MKS Instruments Inc.
MKS Instruments, Inc. 在氣體、真空儀器應(yīng)用方面一直居于全球之技術(shù)領(lǐng)先的地位。 相關(guān)的產(chǎn)品應(yīng)用于尖端之材料科學或制程技術(shù)的改善,從精密的半導體工業(yè),光電產(chǎn)業(yè)到工業(yè)用工具的表面涂裝, 食品及制藥工業(yè)等范圍,這些制程都牽涉到在控制的環(huán)境內(nèi)使分子氣相及固相發(fā)生適當?shù)姆磻?yīng),以便在材料上形成不同的材質(zhì)或薄膜。
藉由 MKS 的各種相關(guān)產(chǎn)品以管理, 監(jiān)測及控制氣體,壓力等條件, 提供制程所須的環(huán)境,同時 MKS 也提供各種制程產(chǎn)生器 , 例如: 電漿產(chǎn)生器, 微波產(chǎn)生器, 臭氧產(chǎn)生器, 射頻供應(yīng)器 等相關(guān)元件供應(yīng)制程所環(huán)境, 以達到制程控制。
MKS 擁有完整的技術(shù)及產(chǎn)品資源,不管是產(chǎn)品的研發(fā)設(shè)計、客戶的支持服務(wù),都能快速提供依客戶特殊須求的產(chǎn)品服務(wù)來配合。
MKS 是全球最著名的先進生產(chǎn)工藝控制設(shè)備供應(yīng)商之一, 其產(chǎn)品廣泛地應(yīng)用于各種半導體器件生產(chǎn), 平板顯示器, 光學儲存介質(zhì), 玻璃鍍膜, 光電產(chǎn)品等生產(chǎn)設(shè)備及制藥和醫(yī)學成像設(shè)備。 MKS 前瞻性的創(chuàng)新開發(fā), 推動其產(chǎn)品一直處于全球技術(shù)領(lǐng)先地位。 MKS 的電源, 測量, 控制和復雜氣體相關(guān)的工藝監(jiān)控技術(shù), 改善了設(shè)備完好率和產(chǎn)品成品率, 提高了生產(chǎn)產(chǎn)量和產(chǎn)品性能。 MKS 產(chǎn)品起源于我們的壓力測量和控制核心技術(shù), 延伸到材料遞送, 氣體和薄膜成分分析, 靜電荷控制, 工藝控制, 信息管理, 電源和反應(yīng)氣體發(fā)生器及真空技術(shù)。
MKS成立于 1961 年, 總部位于美國東部波士頓以北的 Wilmington。 近三千名員工工作在全球各地十三個分公司, 七個研究中心, 十個生產(chǎn)基地 (其中中國深圳的 ENI電源工廠擁有近 500員工) 及 140 多個銷售辦事處和 30 多個技術(shù)服務(wù)中心。 公司在納斯達克上市, 股票代碼: MKSI。
MKS 擁有完整的技術(shù)及產(chǎn)品資源, 無論是產(chǎn)品的研發(fā)設(shè)計, 生產(chǎn)管理還是客戶支持服務(wù), 都能快速滿足客戶的各種特殊需求。 MKS主要提供有: 氣體壓力及流量測量和控制, 射頻 /直流 /微波電源發(fā)生器及測量工具, 氟離子 /臭氧反應(yīng)氣體發(fā)生器, 真空產(chǎn)品, 氣體分析儀, 靜電控制及信息和控制技術(shù)等產(chǎn)品。
萬機儀器(上海)有限公司是美國萬機儀器有限公司 (MKS Instruments, Inc.) 在中國的全資子公司。位于上海金橋出口加工區(qū)的銷售和技術(shù)服務(wù)中心,為迅速發(fā)展的中國半導體、太陽能電池、LED和真空工業(yè)提供一流的產(chǎn)品和技術(shù)服務(wù)。公司在上海外高橋保稅區(qū)還設(shè)有保稅倉庫。